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電子業

沸石轉輪+TO

沸石濃縮轉輪焚化系統主要是由沸石濃縮轉輪串連熱焚化爐所組成的高效率VOCs廢氣處理系統,先由沸石轉輪自排入的制程廢氣中吸附VOCs污染物,再以濃縮轉輪脫附而出的高濃度廢氣進入溫度高於1,350℉(732ºC)的燃燒機中進行分子破壞分解。
傑智產制的高效能廢氣焚化爐(TO)主要可應用於含有害、有毒或臭味氣體的處理,尤其針對揮發性有機氣體(VOCs),因VOCs具有熱值,廢氣本身可作為燃料,因此採用熱焚化的方式處理對於VOCs的處理效率相當高(> 99 % ) 。

沸石轉輪濃縮+焚化處理系統

沸石濃縮轉輪焚化系統主要是由沸石濃縮轉輪串連熱焚化爐( ThermalOxidizer: TO、 RTO) 所組成的高效率VOCs廢氣處理系統,先由沸石轉輪自排入的制程廢氣中吸附VOCs污染物,再以濃縮轉輪脫附而出的高濃度廢氣進入溫度高於1,350℉(732ºC)的燃燒機中進行分子破壞分解。
燃燒處理後的多餘熱能將自動運用於預熱進入燃燒機的高濃度廢氣,以及用於提供脫附濃縮轉輪污染物所需的熱氣。

蜂巢式(honeycomb)沸石轉輪結構吸附VOCs污染物所產生的壓降相當低,可使風車所需的電力減到最少。

由於處理濃縮後的風量僅為進入系統風量的5%到20%,因此可相對縮小焚化尺寸,以維持更低的燃料成本。

 

熱回收設備

Oven有機廢氣 觸媒+ 熱管熱能回收設備主要是針對半導體業、 光電業等,制程oven機台等高耗能設備,進行熱能回收的高效節能設備。

本設備採用熱管式熱交換器,熱交換效能高,同時可避免交叉污染問題產生;另外高溫側入口端設有高效率觸媒,針對Oven機台排放之揮發性有機物進行過濾及觸媒氧化,降低排放空氣污染物總量, 並進一步提升熱回收效率及確保熱管熱交換效能。


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